臭氧發生機產生的臭氧氣體具有較強的氧化、催化等作用，對各類細菌和病毒都具有極強的殺滅作用。對車間空間空氣進行殺菌消毒，使細菌、真菌等多種菌體的蛋白質外殼氧化

除氟過濾器采用活性氧化鋁吸附劑進行除氟處理。活性氧化鋁吸附過濾是目前技術比較成熟，應用極為廣泛、有效的除氟方法。活性氧化鋁是兩性物質

當有廢氣排出時溫度較高（300℃左右），高于起燃濕度，且有機物含量較高，熱交換器回收部分凈化氣體所產生的熱量，在正常操作下能夠維持熱平衡，無需補充熱量，通常只需要在催化燃燒反應器中設置電加熱器供起燃時使用。

通風中需處理的廢氣，由玻璃鋼離心風機壓入噴淋塔之進氣短后，垂直向上與噴淋段自上而下的吸收液起中和反應，使廢氣濃度降低，然后繼續向上進入填料段，廢氣在塑料球打滾再與吸收液起中和反應，使廢氣濃度進一步降低后進入脫水器段，脫水液滴，凈化后達到排放標準。

硅料酸洗廢氣處理設備